TSC-D200 Series MFC Korea Kỹ Thuật Số Việt Nam
Tính năng sản phẩm
1. Được cung cấp cho các dây chuyền sản xuất hàng loạt chất bán dẫn, sản phẩm đã được sử dụng liên tục trong thời gian dài và đã được kiểm chứng về độ ổn định, độ chính xác và khả năng lặp lại cao (trên 20.000 đơn vị).
2. Thời gian phản hồi nhanh trên toàn bộ phạm vi
3. Áp dụng
Đặc điểm kỹ thuật
Hoạt động |
TSC-D245 |
|
Phạm vi lưu lượng (Tương đương N2) |
Bất kỳ lưu lượng nào trong khoảng 0 ~ 100 slm đều có thể |
Tất cả các lưu lượng trong phạm vi 0 ~ 400 slm có thể |
※ Vui lòng chỉ định Full Scale là lưu lượng bạn mong muốn . |
||
Phạm vi kiểm soát lưu lượng |
2 ~ 100% của toàn thang đo |
|
Sự chính xác |
≤ ± 1,0% của toàn thang đo |
≤ ± 2,0% của toàn thang đo |
Thời gian phản hồi |
≤ 1,5 giây (10 ~ 100% của Toàn thang đo) |
|
Tính tuyến tính |
≤ ± 0,2% của toàn thang đo |
|
Khả năng lặp lại |
≤ ± 0,2% của toàn thang đo |
≤ ± 0,3% của toàn thang đo |
Tính toàn vẹn rò rỉ |
1×10 -8 Pa· m 3 /giây (He) |
|
Loại van điều khiển |
Solenoid thường đóng |
|
Loại niêm phong |
Chất đàn hồi (Viton, Viton-ETP, Kalrez, v.v.) |
|
Nguyên vật liệu |
SUS304, SUS316L, Viton, Kalrez |
|
Phụ kiện tiêu chuẩn |
LOK, VCR, VCO, (RF, FF, CF Flange) |
|
Giao diện điều khiển |
Chế độ tương tự: 0 ~ 5VDC hoặc 4 ~ 20mA |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.