Lò xử lý nhiệt DF2600 Ohkura Vietnam

DF2600 Vertical Heat Treatment Furnace là lò xử lý nhiệt (lò khuếch tán) dạng đứng của Ohkura Electric – Nhật Bản, được thiết kế cho các quy trình xử lý nhiệt trong sản xuất bán dẫn. Thiết bị đáp ứng các yêu cầu về nhiệt độ cao, tiết kiệm không gian lắp đặt và có thể tùy chỉnh theo nhu cầu của từng dây chuyền sản xuất. DF2600 hỗ trợ xử lý wafer từ 4 đến 8 inch và có khả năng vận hành ở nhiệt độ lên đến 1300°C.

Đặc điểm nổi bật

• Thiết kế lò xử lý nhiệt dạng đứng, tối ưu diện tích lắp đặt trong phòng sạch.
• Hỗ trợ wafer 4, 5, 6 và 8 inch.
• Nhiệt độ xử lý tối đa 1300°C, phù hợp với các quy trình nhiệt độ cao.
• Hỗ trợ nhiều quy trình như WET, DRY, ANNEAL và các quy trình xử lý nhiệt khác.
• Tiết kiệm khoảng 10% năng lượng so với các thế hệ trước nhờ hệ thống gia nhiệt hiệu suất cao.
• Các thành phần chính và phần mềm do Ohkura phát triển, giúp bảo trì và nâng cấp lâu dài.
• Có thể tùy chỉnh cấu hình, tốc độ gia nhiệt/làm nguội và các thông số vận hành theo yêu cầu của khách hàng.

Thông số kỹ thuật chính

• Model: DF2600
• Loại thiết bị: Vertical Heat Treatment Furnace (Vertical Diffusion Furnace)
• Cấu trúc: Cửa mở xuống (Vertical downward-opening)
• Đường kính wafer: 4, 5, 6 và 8 inch
• Dung lượng xử lý: Tối đa 150 wafer (≤6 inch) hoặc 100 wafer (8 inch)
• Số cassette: Tối đa 8 cassette (≤6 inch) hoặc 6 cassette (8 inch)
• Khí sử dụng: N₂, O₂, H₂ và các khí công nghệ khác
• Tốc độ gia nhiệt: Tối đa 10°C/phút
• Tốc độ làm nguội: Tối đa 3°C/phút
• Kích thước thiết bị: 2600 × 900 × 1280 mm (C × R × S)
• Nhiệt độ tối đa: 1300°C

LIST CODE

table {mso-displayed-decimal-separator:”\.”; mso-displayed-thousand-separator:”\,”;} tr {mso-height-source:auto;} col {mso-width-source:auto;} td {padding-top:1px; padding-right:1px; padding-left:1px; mso-ignore:padding; color:black; font-size:11.0pt; font-weight:400; font-style:normal; text-decoration:none; font-family:Calibri, sans-serif; mso-font-charset:0; text-align:general; vertical-align:bottom; border:none; white-space:nowrap; mso-rotate:0;}